借助光谱共焦传感器

非接触式尺寸测量
纳米和微米分辨
白光传感器（无斑点，大测量范围）
同轴测量（无阴影）
镜面上的高局部斜率（反射式）
对环境光不敏感
可测金属，玻璃，半导体，陶瓷和其他更多材料
透明物体的厚度测量方式
具有大测量范围能力（20μm-24mm）

3D光学轮廓测量仪，采用国际领先的光谱共焦技术，可实现对材料表面微米、次微米级粗糙度检测，并且可以进行2D轮廓/3D微观形貌扫描分析，具有测量精度高，速度快，便于携带，重复性好的优点，该仪器可用于测量大尺寸样品，软件功能含括了点测量、线测量、面测量以及编程等强大的功能，可选模块包括2D&3D粗糙度检测与分析、2D轮廓测量与3D形貌分析、平面度检测、共面度检测、平行度检测。

ST150型三维表面形貌测量仪，采用国际领先的光谱共焦技术，可实现对材料表面微米、次微米级粗糙度检测，并且可以进行2D轮廓/3D微观形貌扫描分析，具有测量精度高，速度快，便于携带，重复性好的优点，该仪器可用于测量大尺寸样品，软件功能含括了点测量、线测量、面测量以及编程等强大的功能，可选模块包括2D&3D粗糙度检测与分析、2D轮廓测量与3D形貌分析、平面度检测、共面度检测、平行度检测。