stil三维表面轮廓测量仪
法国STIL三维表面轮廓测量仪
配置“点”传感器的MICROMESURE2系统
MICROMESURE2系统,配置CCS-Prima,STIL-DUO传感器,是非接触式表面测量的理想工具,包含3D粗糙度,形状测量和3D微观形貌。
MICROMESURE2系统,重复利用了STIL非接触式传感器在各种应用和领域的卓越性能。
与配套的控制器&采集硬件和软件一起交付,MICROMESURE2系统是一套整机,启动后立刻执行(指令)。
借助光谱共焦传感器
- 非接触式尺寸测量
- 纳米和微米分辨
- 白光传感器(无斑点,大测量范围)
- 同轴测量(无阴影)
- 镜面上的高局部斜率(反射式)
- 对环境光不敏感
- 可测金属,玻璃,半导体,陶瓷和其他更多材料
- 透明物体的厚度测量方式
- 具有大测量范围能力(20μm-24mm)
借助高质量的扫描系统
- Z轴0.1μm编码器(系列产品)
- X&YZ轴0.1μm编码器(可选择)
- 低震动
- 正交性和平面度校正
- 透明的作业空间,避免气流震荡
配置线传感器的MICROMESURE2系统
2014年产品:配置了MPLS180线传感器的MICROMESURE2
4个光学头可选:Nano view,Micro View,Deepview,Wire view
专用软件:Line SensorMap
MICROMESURE2系统技术参数
STIL 3D轮廓测量仪 | ||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
型号 | MIME-3M1R-115 | MIME-3M3R-115 | MIME-3M3R-332 | |||||
X-Y轴参数 | 行程 | 100mm | 100mm | 300mm | ||||
编码器 | 无 | 有 | 有 | |||||
位置精度 | 10μm/100mm | 1μm/100mm | 1μm/100mm | |||||
位置分辨率 | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm | |||||
平面度 | 1μm/100mm | 1μm/100mm | TBA | |||||
最大速度 | 20mm/s | 20mm/s | 20mm/s | |||||
Z轴参数 | 行程 | 50mm | 50mm | 50mm | ||||
编码器 | 无 | 有 | 有 | |||||
位置精度 | 1μm/100mm | 1μm/100mm | 1μm/100mm | |||||
位置分辨率 | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm | |||||
平面度 | 1μm/100mm | 1μm/100mm | 1μm/100mm | |||||
最大速度 | 5mm/s | 5mm/s | 5mm/s | |||||
外形尺寸(L*D*H) | 640*612*606(mm) | 640*612*606(mm) | TBA | |||||
重量(kg) | 120 | 120 | 250 |
MICROMESURE2系统表面图像处理及采集软件
表面图像控制&采集软件 | ||
---|---|---|
采集类型 | 轮廓扫描(X,Y,倾斜物) | |
表面扫描 | ||
点系列采集 | ||
重复测量 | ||
混合采集序列 | ||
视频图像(如配置摄像机) | ||
扫描参数设定 | 体积 | |
沿每个轴步进 | ||
传感器参数设定 | 高度模式 | |
厚度模式 | ||
光笔选择 | ||
平均 | ||
双倍频率(如提供) | ||
扫描类型 | 恒定速度(带有间隙补偿) | |
恒定速度(前&后) | ||
逐步 | ||
Z following | ||
数据存储 | 文件夹选择 | |
格式选择(binary,csv) | ||
用户监督 | 测量进程 | |
XY和Z坐标 | ||
传感器状态 | ||
自动程序 | 硬件归位 | |
自动对焦 | ||
重定位 | ||
检查 |
应用类型:
- 形状及纹理分析
- 精密机械检测
- 表面特征分析
- 3D高度和厚度,形貌/轮廓
- 粗糙度测量
- 尺寸测量
应用领域
- 机械(粗糙度,摩擦力,3D计量,腐蚀分析......)
- 玻璃行业(浮法玻璃在线厚度控制,3D计量......)
- 微电子(粗糙度,3D计量,缺陷分析)
- 光学(粗糙度,3D计量......)
- 钟表(平面度,粗糙度,厚度......)
- 核燃料工业(粗糙度,摩擦度,3D计量,腐蚀分析......)
- 航空航天(粗糙度,涡轮形状)
选择:
- 后期处理软件:来自法国图像技术的MountainsMap
- 用于实际3D测量的X&Y轴的线性编码器(位置精度=1μm/100mm)
- 录影机
- 用于更换光笔的简单刀塔或双刀塔
- 减震支架
- 1轴和2轴配置
- X&Y轴行程可达300mm定制
- Z轴行程可达100mm定制
计量工件
- 校准槽(深度为10μm)
- 粗糙度标准(Ra=0.8μm)
- 光学平面(直径=140mm)
- 位移光罩(用于设置录影机偏移)
借助光谱共焦传感器
非接触式尺寸测量
纳米和微米分辨
白光传感器(无斑点,大测量范围)
同轴测量(无阴影)
镜面上的高局部斜率(反射式)
对环境光不敏感
可测金属,玻璃,半导体,陶瓷和其他更多材料
透明物体的厚度测量方式
具有大测量范围能力(20μm-24mm)
非接触式尺寸测量
纳米和微米分辨
白光传感器(无斑点,大测量范围)
同轴测量(无阴影)
镜面上的高局部斜率(反射式)
对环境光不敏感
可测金属,玻璃,半导体,陶瓷和其他更多材料
透明物体的厚度测量方式
具有大测量范围能力(20μm-24mm)