stil三维表面轮廓测量仪

法国STIL三维表面轮廓测量仪

配置“点”传感器的MICROMESURE2系统

MICROMESURE2系统,配置CCS-Prima,STIL-DUO传感器,是非接触式表面测量的理想工具,包含3D粗糙度,形状测量和3D微观形貌。

MICROMESURE2系统,重复利用了STIL非接触式传感器在各种应用和领域的卓越性能。

与配套的控制器&采集硬件和软件一起交付,MICROMESURE2系统是一套整机,启动后立刻执行(指令)。

借助光谱共焦传感器

  • 非接触式尺寸测量
  • 纳米和微米分辨
  • 白光传感器(无斑点,大测量范围)
  • 同轴测量(无阴影)
  • 镜面上的高局部斜率(反射式)
  • 对环境光不敏感
  • 可测金属,玻璃,半导体,陶瓷和其他更多材料
  • 透明物体的厚度测量方式
  • 具有大测量范围能力(20μm-24mm)

借助高质量的扫描系统

  • Z轴0.1μm编码器(系列产品)
  • X&YZ轴0.1μm编码器(可选择)
  • 低震动
  • 正交性和平面度校正
  • 透明的作业空间,避免气流震荡

配置线传感器的MICROMESURE2系统

2014年产品:配置了MPLS180线传感器的MICROMESURE2

4个光学头可选:Nano view,Micro View,Deepview,Wire view

专用软件:Line SensorMap

 

MICROMESURE2系统技术参数

STIL 3D轮廓测量仪
型号   MIME-3M1R-115 MIME-3M3R-115 MIME-3M3R-332
X-Y轴参数 行程 100mm 100mm 300mm
编码器
位置精度 10μm/100mm 1μm/100mm 1μm/100mm
位置分辨率 0.1μm 0.1μm 0.1μm
平面度 1μm/100mm 1μm/100mm TBA
最大速度 20mm/s 20mm/s 20mm/s
Z轴参数 行程 50mm 50mm 50mm
编码器
位置精度 1μm/100mm 1μm/100mm 1μm/100mm
位置分辨率 0.1μm 0.1μm 0.1μm
平面度 1μm/100mm 1μm/100mm 1μm/100mm
最大速度 5mm/s 5mm/s 5mm/s
外形尺寸(L*D*H) 640*612*606(mm) 640*612*606(mm) TBA
重量(kg) 120 120 250

 

MICROMESURE2系统表面图像处理及采集软件

表面图像控制&采集软件
采集类型 轮廓扫描(X,Y,倾斜物)
表面扫描
点系列采集
重复测量
混合采集序列
视频图像(如配置摄像机)
扫描参数设定 体积
沿每个轴步进
传感器参数设定 高度模式
厚度模式
光笔选择
平均
双倍频率(如提供)
扫描类型 恒定速度(带有间隙补偿)
恒定速度(前&后)
逐步
Z following
数据存储 文件夹选择
格式选择(binary,csv)
用户监督 测量进程
XY和Z坐标
传感器状态
自动程序 硬件归位
自动对焦
重定位
检查

应用类型:

  • 形状及纹理分析
  • 精密机械检测
  • 表面特征分析
  • 3D高度和厚度,形貌/轮廓
  • 粗糙度测量
  • 尺寸测量

应用领域

  • 机械(粗糙度,摩擦力,3D计量,腐蚀分析......)
  • 玻璃行业(浮法玻璃在线厚度控制,3D计量......)
  • 微电子(粗糙度,3D计量,缺陷分析)
  • 光学(粗糙度,3D计量......)
  • 钟表(平面度,粗糙度,厚度......)
  • 核燃料工业(粗糙度,摩擦度,3D计量,腐蚀分析......)
  • 航空航天(粗糙度,涡轮形状)

选择:

  • 后期处理软件:来自法国图像技术的MountainsMap
  • 用于实际3D测量的X&Y轴的线性编码器(位置精度=1μm/100mm)
  • 录影机
  • 用于更换光笔的简单刀塔或双刀塔
  • 减震支架
  • 1轴和2轴配置
  • X&Y轴行程可达300mm定制
  • Z轴行程可达100mm定制

计量工件

  • 校准槽(深度为10μm)
  • 粗糙度标准(Ra=0.8μm)
  • 光学平面(直径=140mm)
  • 位移光罩(用于设置录影机偏移)

 

PRODUCTS

产品中心

3D-STATION-2
借助光谱共焦传感器

非接触式尺寸测量
纳米和微米分辨
白光传感器(无斑点,大测量范围)
同轴测量(无阴影)
镜面上的高局部斜率(反射式)
对环境光不敏感
可测金属,玻璃,半导体,陶瓷和其他更多材料
透明物体的厚度测量方式
具有大测量范围能力(20μm-24mm)
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