HORIZON控制器

干涉传感器的应用

HORIZON 系列控制器结合光谱传感器同时测量薄膜厚度和距离。

测量原理为干涉测量， 具有专门的软件进行数据处理，可高精度测量并满足对非接触测量的各种要求。

HORIZON控制器可进行高精度非接触式测量，无工件损坏风险。

这些控制器的优势之一是可在不同类型表面和材料上高分辨率地测量距离和厚度，包括在反光面上测量。

测量性能取决于控制器型号和所配的光谱传感器。 一台控制器结合亚微米级高精度光谱传感器，可以测量玻璃厚度，也可测量透明和不透明薄膜的厚度。

HORIZON控制器（可见光和红外光光源）兼容马波斯或Stil的全部光谱传感器，用户可根据所需的测量范围 （厚度和距离）选择相应的光谱传感器。

HORIZON

Horizon控制器性价比高，OEM易于集成。

这是一款单通道的控制器。

硬件（设备）与软件（第三方软件）架构之间无缝配合。

 

可选不同光源，可达极致性能。结合专用的光谱传感器可满足广泛的应用要求，例如晶圆、医疗器械、电子器件等应用，只要这些应用需要在非接触式测量中达到极高的精度。

 

Horizon产品线是对P3IF产品线的进一步丰富，专用于满足半导体后段制程的应用要求。

优 势

• 干涉测量技术柔性高，可测量透明、半透明和不透明材料，包括半导体行业的高级镀膜

• 高精度和高稳定性，可确保薄膜、晶圆和镀膜测量可靠性并具有极高的重复性和准确性。

• 可串联使用，进行多点测量（全部测量同步进行）

• 提供SDK和协议指令，轻松集成在不同系统中

• 与编码器同步测量，动态采集数据

• 多种通信接口：以太网，USB，RS232/422，模拟量，现场总线

产品

干涉测量是现代化的测量技术，可测量厚度、距离和尺寸变化，并可达到亚微米级高精度。

• 在电子制造行业，干涉测量被广泛用于薄膜厚度测量，薄膜可位于电路上或显示屏上，可在大批量生产中确保薄膜的均匀性和平面性。

• 在汽车制造行业，干涉测量被广泛用于尺寸测量，例如金属反光面和透明的部件，例如玻璃和光学镀膜。在机械零件精密找正和连接的应用中同样不可或缺。

• 在医疗器械行业，精密器械生产可获益于干涉测量技术，例如光学透镜、手术器械和微型传感器。干涉测量可确保这些部件满足严格的质量标准要求。

• 在航空航天领域，干涉测量技术可测量复合材料的质量，可监控结构件在极端条件下的变形。使用干涉测量技术可提高核心部件的工作可靠性，降低失效风险。

• 在半导体行业，干涉测量方案同样至关重要。实时监控功能允许在线控制质量、降低材料浪费和提高生产效率。

• 在电动汽车行业，马波斯测量方案可测量电芯漆膜厚度和电磁线漆膜厚度。 干涉测量技术柔性高，可测量不同表面和材料，包括高反射性材料和透明材料，可充分满足高精度、高可靠性和高测量速度的要求，其作用不可或缺。

技术参数

控制器型号 HORIZONS1 HORIZONS2 HORIZONT1 HORIZONW1 HORIZONL2
测量原理 干涉测量 干涉测量 干涉测量 干涉测量 干涉测量
测量类型 厚度，距离 厚度，距离 厚度，距离 厚度，距离 厚度，距离
采样频率(Hz) 2000 2000 2000 2000 2000
光源 SLED SLED SLED LED LED
波长(nm) 1310 1310 1020 300-700 750
测量范围(μm) 37-1850 74-3700 15-850 2.25-225 60-3000
精度(μm) ≤1μm ≤2μm ≤1μm ≤0.5μm ≤1μm
轴向分辨率(nm) 30nm 30nm 30nm 30nm 30nm
编码器输入 3位（TTL/HTL差分/单端)
数字接口 USB/ETH/RS422
模拟输出 2（0-10Vdc)
同步信号 1路同步输入(TTL)/1路同步输出(TTL)
接口 以太网(10/100Mbit)[RS232/RS422可选]
网络连接 有
电源供电 12-24Vdc(+20%/-15%)
功率消耗 30W
防护等级 IP40
重量 2.8Kg
尺寸(mm) 238*157.5*131.15

注：以上参数如有变化，恕不另行通知。

测头技术规格

探头代码 B3PITS20A01 B3PITT10A00 B3PITL20A01 B3PITL20A00 B3PITS20A00
安装距离[mm] 10 100 50 50 100
项目 IF-S1-S2
10mm		 IF-T1
100mm		 IF-L2
50mm		 IF-L2
50mm		 IF-S1-S2
100mm
距离 - - - - -
厚度 ✓ ✓ ✓ ✓ ✓
最大样本斜率[°] 2.6 1.5 5 2.6 1.5
光斑直径μm 20 15 70 180 25
尺寸[mm] 直径 18 18 22 22 18
尺寸[mm] 长度 69 80.7 86 77 74.3
控制器HORIZONS1 ✓ ✓
控制器HORIZONS2 ✓ ✓
控制器HORIZONT1 ✓
控制器HORIZONW1
控制器HORIZONL2 ✓ ✓
探头代码 B3PIW10A00 B3PIRS20A01 O3P05D1401 O3PS05T7001 O3PS05T3501 O3PS0500001
安装距离[mm] 28 15 4.6 9.2 9.2 42
项目 IF-WL
28mm		 IF-S1-S2-REF
15mm		 OPIB-LWD-D
+MG140		 OPIB-LWD-T
+MG70		 OPIB-LWD-T
+MG35		 OPILB
距离 - ✓ ✓ - - -
厚度 ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ ✓
最大样本斜率[°] 7 2.6 17 17 17 5.4
光斑直径μm 70 20 5.7 11.4 22.9 32
尺寸[mm] 直径 20 30 27 27 27 15
尺寸[mm] 长度 138 147 191.3 153.4 122.7 127.2
控制器HORIZONS1 ✓
控制器HORIZONS2 ✓
控制器HORIZONT1
控制器HORIZONW1 ✓ ✓ ✓ ✓ ✓
控制器HORIZONL2

 连 接

HORIZON控制器可轻松集成硬件。

此控制器全套部件还包括：

• 2 x模拟输出0-10V 简化测量值采集，直接连接PLC模拟输入卡。

• 3 x编码器输入 3D轮廓重建或动态测量期间高精度同步

• 1路以太网输入，设置控制器和连接设备。

• 4 x USB – 固件更新和服务

• Anybus扩展槽 高柔性支持常用的工业通信总线： - EtherCAT - Profinet - Modbus TCP - CANopen - 其它

• IO同步连接 通过硬件触发，可采集测量值，或保持控制器链的完全同步。

干涉探头外形图