型号 ZENITH 5C1 ZENITH 5C2 ZENITH 10C1 ZENITH 10C2
测量模式 位移/厚度
通道选择 1 2 1 2
采集频率 5KHz 5Khz 10Khz 10Khz
光源 白光LED
校准表 20个
位移测量 4个波峰中的1个：第一/第二/第三/第四/最后/最强峰值 8个波峰中的1个：第一/第二/.../第七/第八/最后/最强峰值
厚度测量 2个最强波峰 8个波峰中的2个
多波峰测量 无 前5个波峰
高级功能 自动曝光时间/计算的数据/编码器触发/主动和从动模式 多波峰/自动曝光时间/计算的数据/编码器触发/主动和从动模式
通讯接口 以太网 (GigE) /RS422
同步信号 脉冲输入（5V TTL或者24Vdc或编码器）和脉冲输出（5V TTL)
其它输入输出 5路编码器输入(差分信号)
光纤接口 E2000/APC
兼容性 兼容所有型号测头
工作温度 5℃-50℃
存储温度 -20℃-70℃
相对湿度 5%-80% HR无冷凝
防护等级 IP40
符合标准 - 电磁兼容性（EN 61326-1）
- +5°C低温工作（CEI EN 60068-2-1 A）
- +45°C和93% RH时，静湿热工作（CEI EN 60068-2-78）
- -20°C低温存放（CEI EN 60068-2-1 A）
- +65°C干热存放（CEI EN 60068-2-2 B）
- 5G正弦振动（CEI EN 60068-2-6 FC）
- 密封性IP40（CEI EN 60529）
电源 24V DC 3A /25W
最大/常规功耗 25W/10W 25W/15W 25W/10W 25W/15W
重量 1kg 1.2kg 1kg 1.2kg
尺寸 169*110*88mm

ZENITH单通道控制器

ZENITH双通道控制器

ZENITH控制器技术规格

外形尺寸图

OP系列探头技术规格

型号 单位 OP300VM OP300VM-90 OP850-I OP1000 OP2400-I OP2400-T CL4-LWD OP6000 OP8000
测量范围 mm 0.22 0.22 0.85 1 2.4 2.4 4 6 8
工作距离 mm 5 4.4 12.3 23.9 11.8 11.8 40 28 39
数值孔径
0.5 0.5 0.48 0.45 0.45 0.45 0.36 0.39 0.295
最大倾角 ° ±25 ±25 ±28 ±24 ±26 ±26 ±21 ±22 ±16
出光方向
轴向 径向 轴向 轴向 轴向 轴向 轴向 轴向 轴向
最大线性误差 µm ±0.04 ±0.04 ±0.07 ±0.15 ±65 ±60 ±0.3 ±0.3 ±0.35
静态噪音 nm 12 12 45 30 35 25 110 100 160
轴向分辨率 (10次平均） nm 4 4 15 10 12 8 36.6 33.3 53.3
横向分辨率 µm 3.2 3.2 4.2 2.2 5.1 2.8 4.3 6.25 16.5
光斑直径 µm 6.4 6.4 7.5 4.4 10.1 5.1 8.6 12.5 33
光度效率
34 24 54 15 70 14 25 43 145
最小可测厚度 µm 25 25 50 25 50 40 110 200 300
长 mm 127 128 149 254.1 109 123 167.4 205.5 139
直径 mm 15 15 35 50 27 27 50 60 40
重量 g 27 39 180 753 104 120 470 760 365
型号 单位 OP10000 OP10000-R OP12000 NCTP OP30000 OP35000 OP42000 OP100000
测量范围 mm 10 10 12 20 30 35 42 100
工作距离 mm 66.9 66.9 46 54.5 220 62 530 451
数值孔径
0.2 0.2 0.25 0.35/0.17 0.095 0.33 0.052 0.08
最大倾角 ° ±11 ±11 ±14 ±18/9 ±5 ±17 ±2.5 ±5
出光方向
轴向 径向 轴向 径向 径向 轴向 轴向 轴向
最大线性误差 µm ±0.51 ±0.51 ±0.4 ±2 ±1.5 ±1.65 ±30 ±16
静态噪音 nm 280 280 225 1000 750 600 6000 5000
轴向分辨率 (10次平均） nm 93.3 93.3 75 6000 250 200 2000 1666.67
横向分辨率 µm 25 25 14 15 48 13 53 55
光斑直径 µm 50 50 32.5 30 96 26 106 110
光度效率
156 138 100 73 117 30 90 150
最小可测厚度 µm 425 425 550 500 2000 1200 2500 2500
长 mm 189 152 58.3 210 168 300.3 327 348.9
直径 mm 50 50 36 80/35 59 80 85 120
重量 g 525 674 130 1025 405 2200 1700 4200
传感器 单位 EVEREST-K1 EVEREST-K2 EVEREST-K6
测量范围 mm 1000 2000 6000
工作距离 mm 18.5 19.2 13.7
最大样本斜率 ° ±44 ±42° ±32°
最大线性误差 µm ±0.06 ±0.12 ±0.25
静态噪声 nm 19 38 100
轴向分辨率（平均10次） nm 6.33 12.67 33.33
横向分辨率 µm 2.5 3.8 5.2
光斑直径 µm 5 7 10.4
数值孔径(N.A) 0.7 0.67 0.55
最小可测厚度 µm 50 100 150
出光方向 轴向
光度效率 34 52 26
外观尺寸
长 mm 260.5 243.4 136.3
直径 mm 82 82 47
重量 g 1400 1250 925

EVEREST系列大角度探头技术规格

红色：小数值孔径微观轮廓

蓝色：大数值孔径微观轮廓

 

真空环境使用示意图