NCG-R白光干涉传感器
NCG-R是基于OCT白光干涉技术的测厚传感器,传感器发出的光波在被测物体不同表面进行反射,并发生干涉,由此可以计算出两个表面之间的厚度。现代制造业需要在生产中严格控制每一步操作,确保生产的高质量。新材料不断涌现,产品性能日新月异。例如,半导体行业芯片生产中,需要产生或沉积超薄的薄膜,或在晶圆的最终阶段需要通过薄膜保护晶圆。同样,在化工行业,新材料在集成电路设计中发挥着关键作用。
NCG-R测量方案可控制这些薄膜,无论是沉积成形的薄膜,还是前段制程、抛光,甚至后段或封装制程中使用或所产生的薄膜。
在许多行业产品上,这些薄膜通常都是叠层的结果,厚度仅数微米,典型厚度仅几十纳米。要确保高质量和高性能,必须精确测量这些薄膜。
NCG-R柔性高,可一次测量多层薄膜,包括在CMP或减薄机上静态或动态测量,实时控制薄膜厚度变化。软硬件的设计允许同时使用多个传感器,采集不同测量工位的测量数据。
而且,NCG-R配小巧紧凑的传感器,可在清洁室和恶劣环境中使用,是众多应用的理想选择。
NCG-R传感器控制器技术规格
无论是在清洁环境还是恶劣环境中,NCG光学探头都能获得最佳性能。
即使在有离子水或其他侵蚀性物质的情况下也可以使用探头。每一个部件都经过测试,在振动、高温和潮湿的情况下也能可靠运行。