光谱共焦测量多层传感器
STIL DUO控制器技术规格
| 测量频率 | 2000HZ |
| 波长范围 | 400-900nm |
| 光谱分辨率 | 0.63nm/pixel |
| 光源 | |
| 信号输出 | 网口/RS232 |
| 外部触发I/O | 1input(TTL)/1 output(TTL) |
| 光纤线 | E2000(标准或铠甲） |
| 相对湿度 | 5%-80% HR无冷凝 |
| 工作温度 | 5-50℃ |
| 外观尺寸 | 376mm*363mm*114mm |
| 重量 | 6KG |
| 测量模式： 距离/厚度 |
1、光谱共焦测量 2、光谱干涉测量 |
STIL DUO测量头技术参数(量程1.4mm-4mm)
| 型号 | CL3 | CL4 | |||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 量程（μm） | 1400 | 4000 | |||||||||||||
| 工作距离（mm） | 12.0 | 16.2 | |||||||||||||
| 最大可测倾角（°） | ±25 | ±21 | |||||||||||||
| 放大器型号 | MG140 | MG70 | MG35 | MG20 | |||||||||||
| 光斑尺寸（μm） | 6.8 | 11.9 | 12.3 | 19.9 | |||||||||||
| 横向分辨率（μm） | 2.6 | 4.5 | 4.6 | 7.0 | |||||||||||
| 光量收集率 | 10 | 57 | 25 | 91 | |||||||||||
| 位移 | |||||||||||||||
| 静态噪音 | |||||||||||||||
| 不平均（nm） | 50 | 60 | 110 | 135 | |||||||||||
| 10次平均（nm） | 17 | 20 | 37 | 45 | |||||||||||
| 精度（nm） | 150 | 130 | 300 | 250 | |||||||||||
| 粗糙度测量 | R | NR | NR | NR | |||||||||||
| 厚度 | |||||||||||||||
| 最小可测厚度（μm） | 350 | 550 | 590 | 725 | |||||||||||
| 最大可测厚度（μm） | 16500 | 16500 | 34000 | 34000 | |||||||||||
STIL DUO测量头技术参数(量程12mm-24mm)
| 型号 | CL5 | CL6 | |||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 量程（μm） | 12000 | 24000 | |||||||||||||
| 工作距离（mm） | 25.9 | 21.5 | |||||||||||||
| 最大可测倾角（°） | ±14 | ±8.5 | |||||||||||||
| 放大器型号 | MG35 | MG20 | MG35 | MG20 | |||||||||||
| 光斑尺寸（μm） | 24.3 | 40.0 | 26.8 | 43.0 | |||||||||||
| 横向分辨率（μm） | 11 | 14 | 11 | 18 | |||||||||||
| 光量收集率 | 33 | 100 | 9.8 | 43 | |||||||||||
| 位移 | |||||||||||||||
| 静态噪音 | |||||||||||||||
| 不平均（nm） | 370 | 425 | 700 | 800 | |||||||||||
| 10次平均（nm） | 123 | 142 | 233 | 277 | |||||||||||
| 精度（nm） | 750 | 550 | 1600 | 1200 | |||||||||||
| 粗糙度测量 | NR | NR | NR | NR | |||||||||||
| 厚度 | |||||||||||||||
| 最小可测厚度（μm） | 350 | 550 | 590 | 725 | |||||||||||
| 最大可测厚度（μm） | 16500 | 16500 | 34000 | 34000 | |||||||||||
注：以上参数如有变化，恕不另行通知。(1)表中给出的数值是典型值，CL0，CL2，CL3，CL4有±3%的偏差；CL1，CL5，CL6有±6%的偏差,；
(2)最大可测倾角是指针对镜面反射表面时的极限角度值。漫反射表面的最大可测倾角可达87。：
(3)在量程中间位置时的光斑尺寸，靠量程近端光斑更小，靠量程远端光斑更大，从中心分别到近端远端差异10%左右；
(4)光度收集率是指由不同的测头测量同一样品收集的能量，是相对单位量，此表中的数值为典型值。测量高度反射的样品时，选择低光度收集率的型号，为了避免饱和，测量扩散或低反射的样品时，选择具有高光度收集率型号，以避免一个非常低的信号与噪声比例；
(5)轴向分辨率RMS是对静止样品测得的噪声电平。在量程的中心，以最佳的速率进行测量，内部的平均分别设定为1-10。此参数为校准后立即测量，并对应交付每个传感器的校准证书；
(6)精度是由1nm精度的编码器做比较校准，由所述传感器测量距离时，在整个测量范围内的最大误差。使用以下设置：自动适应LED模式，最优的速度，倾角为0。，内部平均=测量值/10。此参数为校准后立即测量，并指定每个传感器的校准证书交付；
(7)最小可测量的Ra的精度取决于样品的恃性，表中所给的值是典型的；
(8)在最佳的速度下，测量范围的中心，测量的典型值，不加平均。折射率=1.5个样本（测量空气间隙应除以1 5的厚度时）；
STIL DUO光纤线规格（可选配以下）
| 型号 | 长度 | 内径 | 外径 | 外壳 | 连接器类型 |
| E50-3 | 3m | 50/125μm | 3mm | 标准 | E2000 |
| E50-5 | 5m | 50/125μm | 3mm | 标准 | E2000 |
| E50-10 | 10m | 50/125μm | 3mm | 标准 | E2000 |
| E50-3-M | 3m | 50/125μm | 3mm | 金属外壳 | E2000 |
| E50-5-M | 5m | 50/125μm | 3mm | 金属外壳 | E2000 |
| E50-10M | 10m | 50/125μm | 3mm | 金属外壳 | E2000 |
| E50-20-M | 20m | 50/125μm | 3mm | 金属外壳 | E2000 |
标准型光纤线
铠甲护套型光纤线
多层测量软件
STIL-DUO传感器采用多层测量软件，可以直接测量多层透明物体厚度（最高可达10层）
测量3层样品厚度
测量5层样品厚度
DUO控制器采样频率100Hz-10KHZ
光源采用用卤素灯
可以处理大量测量范围拥有从130μm- 42mm
传感器由三部分组成：控制器、光纤、测头
最多可以测量10层不同折射率透明或半透明样品
光纤线可选配普通型或者铠甲护套型的。
