ZENITH控制器

采用以太网口、RS422串口通信

支持三路编码器信号触发模式

拥有同步信号输入和输出功能

支持C++、C#、命令行简易模式开发

 

 

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不同类型的硅晶圆、蓝宝石晶圆的在线厚度测量
减薄机、研磨机、CMP抛光机的过程控制
涂层和厚层检测、薄膜厚度控制

 

 

红外干涉传感器

NCG R可一次测量多层薄膜/镀膜厚度,包括在CMP或减薄机上静态或动态测量,实时控制镀膜厚度(25nm-220µm)变化

 

白光干涉传感器

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光谱技术持续创新

拥有光谱共焦位移传感器和白光干涉传感器

光笔测头直径最小可达4mm

镜面反射夹角44度

 

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共焦技术在半导体行业应用

全新测量原理的光谱共焦传感器

可测量晶圆厚度、切片槽深、BUMP球高度

亚微米级超高精度

 

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    PRECISION MACHINIG

    精密加工行业应用

    超精密加工测量的发展趋势表现为:高精度、大量程测量,形状和位置精度的同步测量,多物理量检测表征,高性能检测的计量。通过采用白光光谱共焦和红外干涉的测量方法,最高可达纳米级精度....

    SEMICONDUCTOR 

    半导体行业应用

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    在半导体的制造中,需要研磨以使晶圆的厚度变薄,以及抛光以使表面成为镜面。在晶片制造过程中,通过双面研磨、单面研磨等对从晶锭切片的晶片进行厚度调节,以消除加工表面的变形,然后将晶片加工成镜面...

SENSOR KNOWLEDGE

传感器知识

  • 关于 ABOUT US

    东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司,始终致力于为全球高端自动化与智能制造提供核心的精密检测能力。我们以先进光学技术为基石,是精密检测核心零部件与解决方案的领先供应商。
    强大的现代工业体系依托于三大支柱:新型材料、精密制造与精密检测。在智能化与高质量发展的新时代,精密检测是确保产业升级、品质卓越的关键环节。我们以“赋能智造,洞见微毫”为使命,持续推动精密光学检测技术向更高精度、更智能化的方向迈进。
    我们提供全面的精密光学检测产品组合,包括:
    纳米级精密传感器: STIL光谱共焦位移传感器、白光干涉传感器、Horizon及NCG红外干涉传感器、OCT光谱层析测厚仪、反射光谱干涉传感器、激光测径传感器。
    先进三维成像: 结构光3D面阵相机、3D激光线扫轮廓传感器。
    专用测量方案:软包电池测厚力距传感器、三维表面轮廓测量仪。
    我们坚持“以市场为导向,以技术为引擎”的发展战略,深度融合客户场景。通过 “标准产品+联合研发定制” 的双轨模式,我们不仅能快速响应普遍的检测需求,更能与客户携手,精准定位并解决其独特的工艺痛点与质量挑战。

    蓝海人秉承 “专注协作,知行合一” 的核心价值观,专注于精密检测领域,与客户、合作伙伴紧密协作,将前沿技术转化为切实的生产力。我们立志与中国制造业的优秀伙伴一道,扬帆远航,共同塑造全球精密制造的未来,屹立于世界产业之林。
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