STIL光谱共焦线扫传感器

STIL光谱共焦线传感器原理图

STIL MPLS-DM包含该了180个独立的光谱共焦通道,每个通道测量样品表面上的单个点,并包含自己的点源,针孔和光谱仪。

在MPLS-DM中,控制器和光学头通过连个光纤束连接。

第一束将控制器的内部光源连接到镜头的入射面;

180束光纤电缆的尖端成为180个通道点光源。

第二束连接光谱仪输出平面;180根光纤的尖端实现了180个通道的针孔。

 

 

STIL光谱共焦线扫传感器技术参数

线扫传感器型号 unit

MPLS-DM

NANOVIEW

MPLS-DM

WIREVIEW

MPLS-DM

MICROVIEW

MPLS-DM

DEEPVIEW

MPLS-DM

SUPERIEW

线长 mm 1.34 1.51 1.8 4.2 12.85
测量范围(2KHZ) mm 0.1 0.9 0.5 2.6 2
测量范围(4KHZ) mm 0.045 0.45 0.235 1.45 0.9
测量范围(6KHZ) mm 0.025 0.24 0.12 0.65 0.5
工作距离 mm 7.5 7.8 10.1 19.5 11.3
数值孔径   0.75 0.75 0.5 0.37 0.33
最大样品斜度 ° 40 46 30 20 17
光斑间距 μm 7.5 8.5 10.1 23.5 71.8
光斑直径 μm 2.9 3.2 3.8 8.8 27.2
静态噪音 nm 25 150 100 300 300
轴向分辨率 μm 0.15 0.9 0.6 1.8 1.8
最大线性误差 μm ±0.05 ±0.1 ±0.08 ±0.12 ±0.12
均匀性 nm 30 200 125 400 400
最小可测厚度 μm 18 110 50 250 300
长度 mm 434.4 480.7 425.6 428.3 397.8
直径 mm 50 70 50 60 60
重量 g 1600 2200 1600 2800 2550

备注:

.测量范围(MR),表中的数值是一台MPLS的标称值;

.工作距离,是光学头至测量范围开始端之间的距离,表中数值是典型值;

.最大线性误差,是将传感器测得的距离长度与1nm编码器测得的长度进行比较,观察到的最大误差。该步骤可位于MR内部任何位置。出厂校准后立刻在如下条件下测量此功能:

-每套通道的测量进行平均,以消除静态噪声;

-信号电平较高,但不饱和;

.最大样品斜度,光轴和局部表面坡度之间的最大夹角。最大可测倾斜角适用于镜面(镜状样品)表面。散射表面,角度可能更大。当倾斜角度增加时,收集信号的强度会减小。该表中的值是镜面上测得的;

.均匀性是由一个MPLS-DM传感器的180个通道在一个完美对齐平面上测量的值的变化量(RMS)。此功能在工厂校准后立即测量,并具有最佳的条件和设置;

.标配光谱共焦线传感器出厂都是按照最高2KHZ采样频率标定,如果需要使用4K或者6K采样频率,订货时请提前注明,同时注意采样频率提高后,测量范围会相应变小,详情可参考上面参数;

 

STIL光谱共焦线扫控制器技术规格

 

控制器   MPLS-DM
核心原理 光谱共聚焦
光源 白色LED灯
点数 180
采样频率 标配200-2000HZ(最高可达6000HZ,但量程会变小)
位移测量模式 Highest/First/Second/Third/Fourth/Last Peak
厚度测量模式   2-5个波峰
数据输出 以太网口
同步信号 Trigger in&out
其它输入/输出信号 编码器信号输入
光纤线长度 5m
工作温度 5℃-50℃
存储温度 -30℃-70℃
相对湿度 5%-80% HR无冷凝
防护等级 IP20
符合标准 EN61010-1;EN61326-1
电源 100-240V
最大/常用功率 120W/70W
外形尺寸(mm) 448.9*184*497
重量 14.5KG

 

STIL光谱共焦线扫传感器测头和控制器外形尺寸

传感器探头外形(详见上述参数表)

控制器外形

 

STIL光谱共焦线扫传感器的相关软件

线传感器需要配备win7以上操作系统,SDK与传感器一起提供,包括:

-C++动态库源代码

-NET动态库

-“线传感器示例”程序

-传感器用户手册和操作说明

 

使用"线传感器",可完成即时任务:

-连接传感器

-保存且加载配置文件

-改变传感器设置(LED强度、测量频率、触发选项...)

-启动测量,观察,保存数据

-执行用于校准

程序已显示模式:“线--线”和"图像",在图像模式下,每个板块的N行线,显示N*180大小的图像

在"Line sensor Example"中显示的"Line view"。180个橙色条表示测量距离,180个黑色条表示测量强度。

在"Line sensor Example"中显示的"Image view"。每个像素的颜色表示高度值。

 

 

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产品中心

线扫
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STIL光谱共焦线扫传感器高速测量(30000点/秒)
控制器由千兆以太网进行数据传输
测头高分辨率,高精度
光谱共焦可测量任何材料
对外部环境光线不敏感
最大线率是2000lines/秒
由180个点投射到样品表成为一条线
适合用于各种材料:金属(抛光或者粗糙)、玻璃、陶瓷、塑料、硅
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