光谱共焦视觉检测相机
彩色共焦显微镜(STIL专利)检测原理图
STIL光谱共焦视觉检测系统有着双重作用:
-在所需的放大倍数下提供样品表面的高质量图像
-对图像进行处理,同时检测和分析一些预定义的特征或纹理
光谱共聚焦检测系统的优势
此技术结合线阵相机,形成了MC2视觉检测系统,完美解决了传统机器视觉在表面瑕疵检测的难点,具有明显优势:
-无需外接光源照明,光谱共焦传感器的光源即为检测所需的同轴光源;
-环境光线的变化不影响成像效果,适应性强;
-适应所有的物体表面,无论是漫反射表面,镜面(高光面)或者透明物体表面;
-高达80KHZ的扫描速度,并可实现非常低的像素尺寸(最小像素可大0.2*0.2pm2);
-最高可至2.6mm的高景深,在景深范围内的任何一个位置都是完美聚焦,成像更为清晰,无需进行Z轴对焦;
光谱共聚焦相机外形尺寸
STIL光谱共焦相机(视觉检测系统)技术参数
型号 | unit | MC2 NanoView | MC2 WireView | MC2 Microview | MC2 DeepView | MC2 SuperView | ||||
线长 | mm | 1.3 | 1.51 | 1.79 | 4.05 | 12.5 | ||||
景深 | μm | 100 | 500 | 500 | 2600 | 2000 | ||||
工作距离 | mm | 4.6 | 7.8 | 10.1 | 47.8 | 11.3 | ||||
放大率 | 17.3 | 15.6 | 12.9 | 5.6 | 1.8 | |||||
数值孔径 | 0.7 | 0.75 | 0.5 | 0.35 | 0.32 | |||||
最大样品斜率 | ° | 40 | 46 | 30 | 20 | 19 | ||||
样品像素大小 | μm | 0.44 | 0.48 | 0.58 | 1.3 | 4.1 | ||||
光学头:长度 | mm | 424 | 468.1 | 412.8 | 433.1 | 378 | ||||
光学头:直径 | mm | 50 | 70 | 50 | 75 | 60 | ||||
光学头:重量 | g | 5200 | 5800 | 5200 | 7000 | 5600 |
注:以上参数如有变化,恕不另行通知。
STIL光谱共焦相机应用案例
复合材料比较
复合材料比较
字符缺陷的检测
玻璃瓶上的生产缺陷
晶圆边缘的生产缺陷
印刷线路板的生产缺陷
微构件的抛光缺陷
零件抛光缺陷检测
彩色共焦显微镜(STIL专利)是一种允许设计具有非常大的聚焦深度(可达几毫米)的光学系统的技术。对于位于任何深度范围内的样本,这些系统提供了一个清晰,高质量和完美聚焦的图像。该技术结合了光谱编码和传统共聚焦显微镜的优点。光谱共聚焦显微镜由多色光源照射的裂缝、高质量光谱透镜、光束分离器、和一个4K线相机组成。