干膜湿膜厚度在线测量

特别在半导体行业,涂层厚度关系到公差的控制,以及材料成本数量的控制,特别一些稀有金属如金、铂等,使用光谱共焦传感器,在线测量监控,实时管控,不管是湿膜生产过程,还是干膜成品质量管控。

湿膜厚度和干膜厚度的关系:湿膜厚度=(所需的干膜厚度/涂料固体成分的体积百分比)*(100%+添加的稀释剂百分比)
注:涂料的固体成分百分比可根据所用涂料的参数确定。

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光谱共焦超高采样频率,10000点/s,可以很好的配合在线生产测量使用

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