光谱共焦测量多层传感器

STIL DUO控制器技术规格

测量频率	2000HZ
波长范围	400-900nm
光谱分辨率	0.63nm/pixel
光源
信号输出	网口/RS232
外部触发I/O	1input(TTL)/1 output(TTL)
光纤线	E2000(标准或铠甲）
相对湿度	5%-80% HR无冷凝
工作温度	5-50℃
外观尺寸	376mm363mm114mm
重量	6KG
测量模式：距离/厚度	1、光谱共焦测量 2、光谱干涉测量

STIL光谱共焦测量头技术参数

型号	CL0		CL1		CL2			CL3		CL4		CL5		CL6
量程（μm）	100		150		400			1400		4000		12000		24000
工作距离（mm）	2.69		3.35		10.8			12.0		16.2		25.9		21.5
最大可测倾角（°）	42		42.5		28			25		21		14		8.5
放大器型号	MG210	MG140	MG210	MG140	MG210	MG140	MG70	MG140	MG70	MG35	MG20	MG35	MG20	MG35	MG20
光斑尺寸（μm）	1.8	2.2	1.9	2.8	2.3	3.4	6.9	4	8	8	14	14	24.5	16	28
横向分辨率（μm）	0.9	1.1	0.8	1.4	1.2	1.7	3.5	3.5	4	4	7.0	7.0	12.3	13	14
光量收集率	0.5	1.7	3.3	10	2.8	7.9	41	10	57	25	91	33	100	9.8	43
位移测量
不平均（nm）	5.0	6.0	7.0	8.0	17	20	25	50	60	110	135	370	425	700	800
10次平均（nm）	1.7	2.0	2.3	2.7	5.7	6.7	8.3	17	20	37	45	123	142	233	277
精度（nm）	16	14	25	20	55	45	40	120	100	250	200	750	550	1600	1200
最小可测粗糙度Ra(nm)	12				30			90		170		600		1100
厚度
最小可测厚度（μm）	5	5	7.5	9	14	14	22	38	40	110	120	350	550	590	725
最大可测厚度（μm）	100	100	175	175	510	510	510	2000	2000	5700	5700	16500	16500	34000	34000
长度（mm）	263.6	229	253.1	217.1	243.3	208.9	176.1	205.9	176.1	145.5	131.7	145.5	131.7	167.6	151.8
直径（mm）	27	27	27	27	27	27	27	27	27	27	27	27	27	27	27
重量（g）	227	192	268	195	248	190	189	215	214	155	140	175	160	195	180

(1)表中给出的数值是典型值，CL0，CL2，CL3，CL4有±3%的偏差；CL1，CL5，CL6有±6%的偏差,；
(2)最大可测倾角是指针对镜面反射表面时的极限角度值。漫反射表面的最大可测倾角可达87。：
(3)在量程中间位置时的光斑尺寸，靠量程近端光斑更小，靠量程远端光斑更大，从中心分别到近端远端差异10%左右；
(4)光度收集率是指由不同的测头测量同一样品收集的能量，是相对单位量，此表中的数值为典型值。测量高度反射的样品时，选择低光度收集率的型号，为了避免饱和，测量扩散或低反射的样品时，选择具有高光度收集率型号，以避免一个非常低的信号与噪声比例；
(5)轴向分辨率RMS是对静止样品测得的噪声电平。在量程的中心，以最佳的速率进行测量，内部的平均分别设定为1-10。此参数为校准后立即测量，并对应交付每个传感器的校准证书；
(6)精度是由1nm精度的编码器做比较校准，由所述传感器测量距离时，在整个测量范围内的最大误差。使用以下设置：自动适应LED模式，最优的速度，倾角为0。，内部平均=测量值/10。此参数为校准后立即测量，并指定每个传感器的校准证书交付；
(7)最小可测量的Ra的精度取决于样品的恃性，表中所给的值是典型的；
(8)在最佳的速度下，测量范围的中心，测量的典型值，不加平均。折射率=1.5个样本（测量空气间隙应除以1 5的厚度时）；

注：以上参数如有变化，恕不另行通知。

STIL光谱共焦光纤线规格（可选配以下）

型号	长度	内径	外径	外壳	连接器类型
E50-3	3m	50/125μm	3mm	标准	E2000
E50-5	5m	50/125μm	3mm	标准	E2000
E50-10	10m	50/125μm	3mm	标准	E2000
E50-3-M	3m	50/125μm	3mm	金属外壳	E2000
E50-5-M	5m	50/125μm	3mm	金属外壳	E2000
E50-10M	10m	50/125μm	3mm	金属外壳	E2000
E50-20-M	20m	50/125μm	3mm	金属外壳	E2000