白光干涉传感器

白光干涉测量原理

STIL干涉位移传感器计算基于白光干涉光谱分析（SAWLI）原理，它通过分析由分光仪获得的干涉波形来测量参照板与标的物之间的空气层间隙。其独特性在于将参照版与标的物固定为一个整体，因为参照板和标的物是一个整体，当测量设备有震动的时候，这个整体的两个部分的距离不会发生任何变化，从而达到有效防止机构震动对测量结果的影像。

此干涉信号是一个通道截止光谱，通过采用七步相移算法对干涉光谱进行计算，使传感器获得亚纳米的测量分辨率。

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控制器技术规格

测量频率	2000HZ
波长范围	400-900nm
光谱分辨率	0.63nm/pixel
光源	卤素灯
信号输出	网口/RS232
外部触发I/O	1input(TTL)/1 output(TTL)
光纤线	E2000(标准或铠甲）
相对湿度	5%-80% HR无冷凝
工作温度	5-50℃
外观尺寸	376mm363mm114mm
重量	6KG
测量模式：距离/厚度	1、光谱共焦测量 2、光谱干涉测量

测量头技术参数

OPILB Line
型号	OPILB-RP		OPILB-LWD-D		OPILB-LWD-T			OPILB
测量模式	位移		位移		厚度			厚度
量程（μm）	135		135		-			-
工作距离（mm）	9.7		4.6		9.2			42
最大可测倾角（°）	±17		±17		±17			±5.4
参考板(1)	Yes		No		No			No
放大器型号	MG210	MG140	MG210	MG140	MG70	MG35	MG20	-
光斑尺寸（μm）(3)	3.8	5.7	3.8	5.7	11.4	22.9	40.2	32
横向分辨率（μm）(2)	1.9	2.8	1.9	2.8	5.7	11.4	20	20
外形尺寸
长(mm)(4)	200	164	200	164	131	100	84	145.5
直径(mm)(4)	27	27	27	27	27	27	27	27
重量(g)	200	127	200	127	126	67	52	155
性能参数
位移模式
静态噪音(nm)(5)	0.5		2		-			-
精度（nm）（6）	10		10
粗糙度测量(7)	NR		NR
厚度模式
最小可测厚度（μm）(8)	-	-	-	-	0.4	0.4	0.4	0.4
最大可测厚度（μm(8)）	-	-	-	-	90	90	90	90
静态噪音(nm)(5)	-	-	-	-	0.3	0.3	0.3	0.3
精度（nm）（6	-	-	-	-	10	10	10	10

(1)参考板直接放在样品上。OPILB-RP的参考板作为绝对参考。它弥补了扫描系统的机械缺陷
(2)横向分辨率定义为光斑直径的一半
(3)在量程中心位置测量的光斑尺寸，无衍射(参考值)
(4)长度和重量不包含光纤线
(5)在静态样本上测量的RMS噪声水平。在最佳位置的样品上，以最佳速采样频率进行测定
(6)精度是在整个测量范围内观察到的最大误差，是通过和1nm精度的编码器比较校准
(7)R=推荐用于测量金属样品(这些样品可以用完整的性能进行测量);NR=不建议测量金属样品(这些样品可以测量，但性能降低)
(8)在最佳的速度下，测量范围的中心，测量的典型值，不加平均。折射率=1.5个样本（测量空气间隙应除以1 5的厚度时）；
注：以上参数如有变化，恕不另行通知。

测量应用案例

采用光谱干涉传感器位移模式测量

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采用光谱干涉传感器厚度模式测量

将共焦共焦原理和白光光谱干涉法完美结合
首次使机构震动对测量的结果不产生影像
不需要垂直扫描
达到亚纳米级分辨率，最小可测厚度 0.4 μm的透明体厚度
传感器自身原理可达纳米级分辨率
共焦可以保证点与点之间不出在相互干扰
超高测量精度，厚度测量时达到0.3nm分辨率,10nm 测量精度

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