stil光谱共焦传感器CL系列

STIL光谱共焦传感器控制器技术规格

型号	CCC PRIMA/CCS OPTIMA+
测量模式	位移/厚度
采样频率	100-2000Hz/100Hz-10000Hz
编码器信号输入	最多3轴-TTL信号输入
校准表（最大值）	20
光源	白色LED光源
数字量输出	30bits分辨率
模拟量输出	2路[0-10V]-16bit分辨率）
数字信号输出	USB2.0/RS232/RS422
I/O同步接口	输入输出TTL同步
通道选择	1/2/4
工作温度	5℃-40℃
存储温度	-30℃-70℃
防水等级	IP40
尺寸	162111.5124mm
控制器重量	1400g
电源等级	24V DC/20V

STIL光谱共焦传感器测量头技术参数

型号	CL0-MG210	CL0-MG140	CL1-MG210	CL1-MG140	CL2-MG210	CL2-MG140	CL2-MG70	CL3-MG140	CL3-MG70	CL4-MG35	CL4-MG20	CL5-MG35	CL5-MG20	CL6-MG35	CL6-MG20
测量范围（mm）	0.1	0.1	0.15	0.15	0.4	0.4	0.4	1.4	1.4	4	4	12	12	24	24
工作距离（mm）	2.7	2.7	3.3	3.3	10.8	10.8	10.8	12.2	12.2	16.5	16.5	26.6	26.6	20	20
数值孔径	0.75	2.69	0.71	0.71	0.46	0.46	0.46	0.41	0.41	0.32	0.32	0.2	0.2	0.12	0.12
最大可测倾角（°）	42.5	42.5	42	42	28	28	28	25	25	21	21	14	14	8.5	8.5
轴向出光	标配
90度径向出光	可选配
最大线性误差（μm）	0.016	0.014	0.025	0.02	0.05	0.05	0.045	0.15	0.13	0.3	0.25	0.75	0.8	1.6	1.2
静态噪音（nm）	5	6	7	8	17	20	25	50	60	110	135	370	425	750	800
轴向分辨率（μm）	0.021	0.025	0.042	0.048	0.102	0.1	0.15	0.3	0.36	0.66	0.81	2.22	2.35	4.5	4.8
横向分辨率（μm）	0.9	1	1.1	1.3	1.7	1.8	3.7	2.6	4.5	4.6	7	11	14	11	18
光斑尺寸（μm）	1.8	2.2	2.7	3.5	4	4	8.8	6.8	11.9	12.3	19.9	24.3	40	26.8	43
光度效率	0.5	1.7	3.3	10	2.8	7.9	41	10	57	25	91	33	100	9.8	43
最小可测厚度（μm）	5	5	7.5	9	14	14	22	38	40	110	120	350	550	590	725
长度（mm）	263.6	229	243.8	209.4	243.3	208.9	176.1	208.9	176.1	145.5	130	145.4	130	171	155.6
直径（mm）	27	27	27	27	27	27	27	27	27	27	27	27	27	27	27
重量（g）	227	192	268	195	248	190	189	215	214	155	140	175	160	195	180

(1)表中给出的数值是典型值，CL0，CL2，CL3，CL4有±3%的偏差；CL1，CL5，CL6有±6%的偏差,；
(2)最大可测倾角是指针对镜面反射表面时的极限角度值。漫反射表面的最大可测倾角可达87。：
(3)在量程中间位置时的光斑尺寸，靠量程近端光斑更小，靠量程远端光斑更大，从中心分别到近端远端差异10%左右；
(4)光度收集率是指由不同的测头测量同一样品收集的能量，是相对单位量，此表中的数值为典型值。测量高度反射的样品时，选择低光度收集率的型号，为了避免饱和，测量扩散或低反射的样品时，选择具有高光度收集率型号，以避免一个非常低的信号与噪声比例；
(5)轴向分辨率RMS是对静止样品测得的噪声电平。在量程的中心，以最佳的速率进行测量，内部的平均分别设定为1-10。此参数为校准后立即测量，并对应交付每个传感器的校准证书；
(6)最大线性误差是由1nm精度的编码器做比较校准，由所述传感器测量距离时，在整个测量范围内的最大误差。使用以下设置：自动适应LED模式，最优的速度，倾角为0。，内部平均=测量值/10。此参数为校准后立即测量，并指定每个传感器的校准证书交付；
(7)在最佳的速度下，测量范围的中心，测量的典型值，不加平均。折射率=1.5个样本（测量空气间隙应除以1 5的厚度时）；
(8)可测半径为测头直径加工作距离。

注：以上参数如有变化，恕不另行通知。

STIL光谱共焦传感器光纤线规格（可选配以下）

型号	长度	内径	外径	外壳	连接器类型
E50-3	3m	50/125μm	3mm	标准	E2000
E50-5	5m	50/125μm	3mm	标准	E2000
E50-10	10m	50/125μm	3mm	标准	E2000
E50-3-M	3m	50/125μm	3mm	金属外壳	E2000
E50-5-M	5m	50/125μm	3mm	金属外壳	E2000
E50-10M	10m	50/125μm	3mm	金属外壳	E2000
E50-20-M	20m	50/125μm	3mm	金属外壳	E2000

标准型光纤线铠甲护套型光纤线

可搭配CCS PRIMA/CCS OPTIMA+/ZENITH控制器
STIL光谱共焦控制器采样频率最高可达10KHZ
量程范围100um-24000um
精度最高可达到14nm
传感器由三部分组成：控制器、光纤、测头
根据实际测量需求，可选配单通道、双通道、四通道控制器
光纤线可选配普通型或者铠甲护套型的。

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