彩色激光同轴位移计测量微透镜阵列

     彩色激光同轴位移计传感器能够测量微透镜的形貌从而检测出表面的缺陷。表面形貌处理对于透镜非常重要，因为它能防止透镜生成扭曲的图像以及优化透光效果。那些圆柱形、非球面形或球面形透镜阵列通常都是由折射率和透明度很高的玻璃构成。采用光谱共焦技术的非接触式测量系统在测量中不会碰到样品，能够防止触碰式测量中探针对透镜的刮伤，同时又能很方便地勾画出透镜的表面三维图像。透镜的曲率半径能够很容易地获得。彩色激光同轴位移计传感器能生成很清晰明显的3d数据。